皮拉尼真空計是一種熱傳導(dǎo)式真空計,屬于直接測量式、全壓型真空計。
皮拉尼真空計原理是加熱電阻絲,使之升溫至需要的工作溫度,由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量,電阻絲的溫度會發(fā)生變化,熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。
皮拉尼真空計的優(yōu)點是燈絲部分在不影響精度與速度的情況下,加以最大的保護(hù),大大延長了燈絲的使用壽命;兩種原理的規(guī)管全過程都工作;mbar—mbar使用薄膜規(guī)信號;1mbar–兩規(guī)信號同時采用;-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號;輸出的真空度信號(電壓)連續(xù),無跳躍。